本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

同时长虹创新将展台打造为超级直播场，让线下专业展会突破边界成为全域流量入口，以技术创新与模式升级双重发力，紧扣 2026 年全国两会扩内需、促消费政策热点，助力家电消费升级与产业高质量发展。 

展会现场，长虹将线下展台的科技体验与线上直播的消费转化深度融合，通过专业讲解、沉浸式体验、专属福利发放，让观众实现“云逛展、深体验、一键购”。值得一提的是，作为国际雪联滑雪大跳台世界杯冠名赞助商，长虹将赛事热血与AI 家电产品深度联动，让赛场的科技温度延伸至消费场景，成功打破 “专业展”的行业边界，让展会成为触达消费者的“消费节”，线下展台变身撬动全域消费的流量入口。

全线春季AI新品，彰显创新底蕴

展会首日，长虹电视携行业首款光色场同控 RGB MiniLED电视——长虹金标T70S首次亮相，创新推出AI全链路光色场同控技术方案，解决传统RGB显示偏色、串色难题，实现色彩纯净度与画质突破；行业首款RGB氛围光壁画电视追光Q70S同步亮相。新品搭载情感化AI交互，支持自定义视频开机、一句话投屏等功能，开启新一代智慧交互体验。

美菱AI冰箱搭载水分子激活保鲜、冷藏温湿度AI精控等五大核心技术，实现食材全周期精准保鲜；洗衣机首创全屏外观，结合AI全流程洗护、蓝氧去残留技术，兼顾颜值与实用性，套系中融入的人感星空投影氛围灯等设计，让科技与生活美学相融。

长虹空调AI人感新品矩阵亦成为现场焦点，据悉，该新品系列采用高精度毫米波雷达，为用户提供主动感知服务，实现感知能力“远、大、快、准”四维升级，可精准捕捉人体位置与运动轨迹，实现“风随人动、风避人吹”的智能调节。同时搭配16分贝静音、57℃高温自清洁等硬核技术，将舒适体验与节能高效深度融合。其超一级能效属性，更是精准响应家电以旧换新政策，消费者购买可享受售价15%的补贴，让智能绿色家电走进更多家庭。 

在全屋智能与场景化体验方面，长虹展现出全家庭场景布局的硬实力。AI健康厨房实现烟机灶、燃热、净水器的AI烟烹联动，风随火起的智能操作让烹饪更从容，AI双气安防系统则为居家安全保驾护航；鲜活水茶吧机以AI智能打造健康饮水体验，实现传统与现代的创新碰撞。

此外，全新升级的长虹智慧家居APP更是构建起智慧家庭的入口，整合长虹、美菱全系AI家电，支持远程控制、场景化定制与AI智能服务，从单一设备智能迈向全屋智能，让智慧生活触手可及。 

锚定民生与行业需求，深化AI+应用

长虹的AI+应用不止于消费端，更向产业端深度延伸。据悉，面对人工智能的爆发式增长，长虹佳华依托强大的生态资源整合与技术服务能力，其AI解决方案可提供垂类模型的咨询规划、选型适配和交付运维，有效服务教育、销售、农业、科技制造等行业场景。

2026年全国两会聚焦扩内需、促消费，中央一号文件明确支持新一轮以旧换新政策持续发力，为家电行业发展注入政策红利。长虹此次参展的全品类AI家电均紧扣政策导向，全系覆盖一级能效标准，享受国家补贴政策。从消费端到产业端，长虹以AI技术为核心，实现产品端到消费端的全方位升级。 

作为家电品牌常青树，长虹近年来持续深耕AI技术研发与应用落地，此次AWE参展阵容正是其技术积累的集中体现。从单品类的AI功能创新，到全场景的AI+构建，再到跨行业的AI技术赋能，长虹正通过技术创新扩大优质消费品供给，以产业数字化转型推动高质量发展，让AI科技真正惠及民生、赋能产业。

6D蜂巢芯系列新品发布会现场

用科技驱动舒适生活，6D蜂巢芯重塑睡眠价值

慕思集团V6家居总经理江涛在发布会上指出，V6家居是慕思集团年轻的家居品牌，承接慕思集团“让人们睡得更好”这一优秀的基因和使命，2025年V6家居战略调整为“健康的睡眠系统+舒适的生活方式”。不仅提出了六根健康睡眠系统解决方案，而且作为睡眠系统最核心的品类，床垫一直都是研发中心重点投入科技创新的重点，持续以开创性材质定义健康睡眠标准。

V6家居洞察年轻消费者的消费偏好和消费认知—材料科技才是舒适的根本，用科技造出好产品，让好产品自己说话。正因如此，江涛表示V6家居升级了全新slogan“用科技实现舒适生活”，6D蜂巢芯新品就是在这一理念下研发出的革新睡眠芯材技术的重磅产品。自上市以来火爆终端，从销售端验证了好产品品质，6D蜂巢芯床垫定义了好床垫的“757”行业标准，6D蜂巢芯沙发定义了好沙发的“6551”行业标准。

慕思集团V6家居总经理江涛

慕思集团V6家居总经理江涛还表示，下个5年，V6家居只做一件事：用科技实现舒适生活。研发上，以“用科技实现舒适生活”为指引深耕材料、结构、睡感；生产上，每张床垫通过CNAS实验室检测严控床垫支撑性、耐用性、贴合度的产品品质；服务上，从“买床垫”到“管睡眠”提供健康睡眠系统、金管家免费除螨服务。依托慕思集团平台优势，承诺将会为更多的家庭带来好的睡眠和舒适生活。

慕思集团V6家居总经理江涛

V6家居坚持用科技实现舒适生活为品牌战略追求，对如何睡得更科学的研究从未停止。现场睡眠领域权威专家彭志平从专业角度指出，科学改善睡眠方式，睡眠方法上采用R90睡眠周期法，在睡眠环境的选择上避免“声光”影响，睡眠最终载体寝具则需要一套真正契合身体的科学支撑系统。理想睡眠身体需要透气、脊椎需要支撑、压力需要分散。

中国睡眠研究会信息科普部主任 彭志平

深入研究如何睡的科学不难，但将理论转化为实际产品、打造产品核心竞争力，正是V6家居一直秉持的钻研精神和过硬研发实力。V6家居一直聚焦从睡眠系统到核心材料共同打造健康睡眠体验，6D蜂巢芯产品，是再启支撑科技的新篇章。

V6家居6D蜂巢芯系列新品发布

6D蜂巢芯重塑睡眠体验，打造最硬核的产品竞争力

床垫行业卖点从来不缺乏创新的概念以及技术，但以往的创新多无法具体科学地回答消费者最直观最落地的痛点：久睡会不会塌陷？是否透气？是否闷热？如何排湿等等。V6家居从实际出发，摒弃为概念买单的模糊创新，传统寝具床垫聚焦的核心，材料才是决定性能的根本上限和下限，6D蜂巢芯是床垫内部结构与材料的重大革新。

慕思集团CTO 陈文泽

慕思集团CTO陈文泽对6D 蜂巢芯的核心技术，从支撑性、透气性、材料优势到绿色环保几个方面进行了深度的发布。

在支撑性上，采用结构力学+仿生力学，瓦楞型结构力学压力分散弹性佳；仿生力学借鉴自然界中最稳定的蜂巢六边形结构，多向受力分散垂直压力，提供稳定、均衡的支撑。经过10万次滚动测试，垫面高度保持96.1%，远超国标要求。

在透气性上，空心六边形结构实现90%以上的内部空气含量，配合360°贯通的立体风道，形成了高效的“呼吸”系统，解决了传统床垫闷热、不排湿的痛点。

在材料上，Sorona®纤维本身具有优异的弹力保型性，Sorona高弹波浪纤维多点分压，高回弹不塌陷，百万动态支撑点精准贴合身体曲线，科学分散身体压力，深睡一整晚。

环保健康方面，已获得USDA美国农业部生物基认证，54%SORONA纤维赋予材料天然抗菌、抑螨功能，从植物到织物绿色环保。

6D蜂巢芯核心技术不仅做到了从材料到结构力学的系统性重构，而且充分满足了对环保健康的需求。

6D蜂巢芯极限测试，见证睡眠黑科技

现在的年轻消费者们最讲究产品的科学评测，从宣传上已经说服不了日益专业的消费者，科技赋能生活美学单从理念上无法让消费者明确地感受品牌产品力的差异。源于对6D蜂巢芯材料与技术的自信，V6家居不惧挑战，用一场硬核现场测试，将复杂的材料科学，通过直观的结构剖面、可查的认证报告和可感的对比体验，转化为了消费者能看懂、能信任的“价值证据”。

极限飞车挑战

最具冲击力的测试之一，当属“极限飞车挑战”和“集装箱压顶测试”。数吨重的货柜从几米高的高空中重重砸下，6D蜂巢芯产品未出现塌陷或结构破坏。在摩托车飞跃碾压下，卸压后秒回弹，床垫表面依旧保持平整。6D蜂巢芯仿生蜂巢结构构建的稳定空间桁架结构，设计承载能力高达39kN，独特的几何构型可分散应力，确保在受压与回弹过程中保持力学响应稳定，直观验证高支撑、不塌陷的产品质量。

集装箱压顶测试

随后还进行了“360° 排水防潮测试”与“烟雾穿透测试”。防潮测试中，水分进入材料后被迅速分散并导出，材料表层保持相对干爽，验证了6D蜂巢芯稳定的排湿与防潮能力。在透气性测试中，烟雾器的烟雾迅速贯穿 6D 蜂巢芯内部，清晰呈现其空气含量超过 90% 的开放式结构，在床垫内部形成高效空气循环，使热量与湿气快速排出，从源头提升睡眠环境的可控性。

6D蜂巢硬核大测试

6D蜂巢芯技术硬核支撑，多功能产品矩阵满足不同人群需求

一款好的床垫，不仅仅是核心技术过硬，还要充分满足不同消费人群的需求，做最贴心的睡眠管家。

慕思集团V6家居软体产品高级总监管光明现场发布了第二代6D蜂巢芯的一系列新品，其中重磅产品6D蜂巢芯床王MFC1-609，贴合国人睡偏硬床垫的习惯，采用蜂巢芯全6D一体承托，支撑层和舒适层二合为一，全6D蜂巢芯11层设计，将6D蜂巢芯的材料优势发挥到极致，整体结构强度和稳定性成倍提升,冲击性碾压和砸压下秒回弹。全新6D立体针织面料，保证整体空气含量＞90%，空气100%透气且排湿无阻隔，实现透气-排湿-速干的微气候循环。

慕思集团V6家居软体产品高级总监管光明

6D蜂巢芯系列新品还有双层6D支撑硬睡感代表606、6D入门601A万象梦，长者首选的605，年轻人首选的602A、年轻人主推603A维纳斯、6D旗舰608等，每一款核心都搭载了全新第二代6D蜂巢芯技术，在硬度和材料功能上满足不同消费者的需求。

跨界+文化融合，以文化共鸣对话年轻世代

在消费对象主打年轻人的层面，V6家居通过创新性的跨界合作与文化融合，精准触达年轻消费群体的情感需求，实现了品牌价值的多元延伸。

V6家居与中国首家专注于“中国原创潮流 IP 孵化”的潮玩品牌公司TOYCITY 玩具城市达成战略合作签约，开启家居潮玩新纪元。此次发布会，TOYCITY 创始人郑波表示：“V6家居与TOYCITY同样专注于为年轻消费群体创造更美好的生活体验。这次合作是一次‘潮玩基因’与‘家居科技’的深度融合。”通过IP联名、场景化营销等方式，V6家居成功将品牌边界从家居场景拓展至潮玩、文化、社交等多元化领域，增强了品牌的趣味性与社交传播力。

TOYCITY玩具城市X V6家居战略合作价值发布

6D蜂巢芯引爆终端销售，品销合一赋能经销商业绩增长

2026年，为持续推进6D蜂巢芯在终端市场的拓展，V6家居启动“6D蜂巢芯”样板城市打造，通过搭建“产品有竞争力、渠道有支撑力、服务有保障力”三维立体的共赢生态，助力更多经销商实现业绩增长。

经销商代表刘莺歌现场分享了样板城市实践结果，6D蜂巢芯上新以来火爆终端销售，首先得益于6D蜂巢芯是寝具竞争壁垒的“核心引擎”，其次是结合本地消费习惯、城市文化和店铺运营特点创造的5个制胜动作-专业培训、销售演练、奖励兑现、经验分享、落地活动。未来，将把V6产品做成现象，实现品牌声量与终端销售齐升的标杆。

优秀经销商代表刘莺歌

6D 蜂巢芯新品的震撼发布，不仅是睡眠黑科技的硬核亮相，更是一场床垫材料的革新与突破。这场燃爆全场的发布会，正是 “6D 蜂暴” 席卷终端市场的全新起点。秉持 “用科技实现舒适生活” 的核心理念，V6 家居以硬核技术重塑睡眠价值，用前沿科技赋能舒适体验，为每一位客户带来更极致、更舒适睡眠生活。